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薄膜物理与技术

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薄膜物理与技术

杨邦朝, 文生·王 (物理), 王文生
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本书主要论述了薄膜的制造技术与薄膜物理的基本内容,包括:各种成膜技术的基本原理与方法、化学气相沉积、膜厚的测量与监控等.
年:
1994
语言:
chinese
页:
237
ISBN 10:
7810167499
ISBN 13:
9787810167499
文件:
PDF, 11.65 MB
IPFS:
CID , CID Blake2b
chinese, 1994
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